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7nm高端DUV光刻机仍可出口!ASML:年底前全力向中国客户交付订单

2024-06-19 来源:赛区科技

ASML方面已经表示,将在年底前向中国客户交付部分先进芯片制造装备。

据美国媒体报道称,ASML已经获得荷兰官方的允许,在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。

按照ASML的说法,在2023年的剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,这些产品从9月1日起就受到限制。

至于2024年是不是可以继续,ASML则表示暂时不能确定。

据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。

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